X線光電子分光分析(XPS、ESCA)

概要

試料表面はプラズマなどの表面処理や酸化により組成が変化します。X線光電子分光分析(XPS、ESCA)はX線を照射して試料から放出される光電子のエネルギーを測定することにより、表面の元素や濃度および結合を分析する方法です。アルゴンイオンエッチングと併用することにより、試料内部の元素濃度も解析できます。

試験方法と測定例

原理

X線を試料に照射し、光電効果により試料から放出された光電子のエネルギーを測定することにより、試料表面の元素、元素濃度、結合状態を分析します。

X線光電子分光分析原理模式図

特微

  • 測定により得られる結合エネルギー値は元素および結合状態(酸化数)によって異なります。
  • 結合エネルギー値に対する光電子カウント数のスペクトルにおいて、元素、元素濃度、結合状態を解析します。試料間の比較により表面組成の変化が解析できます。
  • 光電子が放出される表面から深さ5nm程度までの領域が分析可能です。
  • アルゴンイオンエッチングとXPS、ESCA測定を交互に実施することにより、試料内部のスペクトルを測定し、深さに対する元素濃度の分布(デプスプロファイル)を解析できます。

測定範囲

  • 分析広さ:0.4~1mmΦ程度
  • 検出感度:0.1(atomic)%オーダー
  • 検出深さ:表面から5nm程度まで(深さ方向分析:500nmまで)

測定例

用途

酸化や表面処理による表面組成や化学結合の変化に対する比較分析

サンプルサイズ

  • 大きなサンプルは、試料の裁断が必要です(1cm角程度)。
  • 目的に応じて、適切な前処理を行います。

銅板の表面分析及び有機フィルムの結合状態解析

銅板の表面分析
X線光電子分光分析測定例:銅板の表面分析
有機フィルムの結合状態解析
X線光電子分光分析測定例:有機フィルムの結合状態解析

リチウムイオン電池材の大気非暴露分析

リチウムイオン電池のような大気中の酸素や水分などと反応して変質しやすい試料について、表面状態を正しく評価するには大気非暴露で分析する必要があります。トランスファーベッセルを用いることで、グローブボックスで前処理したサンプルを大気非暴露で装置に導入することができます。またXPS分析は表面近傍の元素濃度や結合状態を評価できるため、電極表面に形成されたSEI(Solid Electrolyte Interphase)層などの分析に有効です。

 

充放電後のリチウムイオン電池をAr雰囲気下で解体し、正極(LiCoO2)表面を大気非暴露でXPSデプス分析しました。

大気非暴露XPS分析例:正極表面のXPSデプス分析(充放電サイクル少/多)

・両サンプル共に表面近傍(Depth:~50 nm)はLiと結合したF濃度が高く観測されました。
 正極表面にはLiFのSEI層が形成していると考えられ、LiFは電解質(LiPF6)の分解生成物であると推測されます。

・充放電サイクルが多いサンプルの方がLi濃度が低い結果が得られ、放電容量と対応しています。
 正極においてLiの脱離が進み、放電容量が低下したと推測されます。

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