４探針法による体積抵抗率測定

概要

４探針法は、導電性を示す物質固有の特性値である体積抵抗率を測定する方法の一つです。
本測定法においては、試料に対して直線状に配置された４本の針状電極のうち、外側２本の針状電極に一定電流を流した状態で内側２本の針状電極に生じる電位差を測定することで、電極と試料間の接触抵抗がほぼ影響しない抵抗値を得ることができます。また、一般に試料サイズは有限であるため、試料内部に生じる電界は試料形状の影響を受け、抵抗値もその影響を受けます。そのため、本測定法では試料形状と測定位置の情報からポアソン方程式を用いて抵抗値を補正し、体積抵抗率を算出します。