ナノインデンタ（超微小硬度試験）
概要
金属メッキ膜、ハードコート膜など、製品の機械的特性を向上させるために薄膜が使用されています。ナノインデンターでは、ミクロンレベルの薄膜に対して、高精度で硬さ、弾性率などの機械的特性が測定可能です。
試験方法と測定例
原理
バーコビッチ圧子（三角錐）を試料に押し込んで引き抜く際の荷重ー変位挙動を計測し、硬さと弾性率を測定します。
特徴
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多層になった薄膜の各層の硬さ、弾性率の評価が可能です。
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高温での測定が可能です。
測定範囲
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荷重：100μN～1N
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変位：0～20μm（分解能0.01μm）
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温度：室温～250℃
測定例
用途
金属メッキ膜、ハードコート膜などミクロンレベル薄膜の硬さ、弾性率測定
微小領域（10μm角以上）の硬さ、弾性率測定
サンプルサイズ
数mm角以上の小片で可
規格例
ISO 14577-1
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