フーリエ変換顕微赤外分光分析（顕微FT-IR）　微小領域のマッピング分析

フーリエ変換赤外分光分析（FT-IR）は、測定対象物に照射した赤外光の透過光（または反射光）の分光により得たＩＲスペクトルから、吸収ピークの特徴（波長、波数、強度の強弱など）を読み取ることで、測定対象物の分子構造や組成を調べることができます。
フーリエ変換顕微赤外分光分析（顕微FT-IR）は、ミクロンオーダーの微小領域に有効であり、オートステージの走査によるマッピング分析では、成分の同定とその分布を詳細に把握することが可能です。
例えば、多層積層材における接着不良や外観ムラなどの不良は、接合前の表面汚染により引き起こされることがあります。このような場合、マッピング分析により表面の成分の特定とその分布を詳細に把握することで原因の分析に有効です。