Ｘ線透視観察装置
概要
X線は紫外線よりも波長が短い電磁波で、透過作用や蛍光作用、化学作用、電離作用など様々な性質があります。その中でも、物質の密度や厚みに依存してX線の透過量が異なる透過作用を利用して、目には見えない材料の内部情報や異物の位置を非破壊で観察することができるのがX線透視観察装置です。
試験方法と測定例
原理
フィラメントから放出される電子をターゲットに照射することで
ターゲット内部にX線源が生起します。
このX線源を、試料に照射することで透視X線画像を取得します。
特徴
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試料の内部構造を非破壊で観察することができます。
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最小焦点寸法1μm以下でシャープな透視画像が取得できます。
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大型試料の観察も可能です。
仕様
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装置 ：メディエックステック製 MXT-160UU
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管電圧・管電流：10～160 kV 0～0.2 mA
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ターゲット ：透過型タングステン
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マニピュレータ：X，Y，Z軸 (300，250，250mm）、回転軸 (360°)、傾斜軸 (最大60°)
測定例
用途
1. 各種素材の内部微小欠陥の非破壊観察
2. 実装基板のクラック・ボイド等の確認
3. 半導体デバイス（コンデンサー，コネクタ等），電池等の品質・信頼性検査
サンプルサイズ
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縦×横：最大200×200mm程度
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倍率：最大1,000倍程度
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重量：数kg程度まで
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