電子線マイクロアナライザー（EPMA）　WDS（波長分散法）マッピング

材料や製品の元素情報を把握することは、研究開発や品質管理などの現場において重要な項目の一つです。WDS（波長分散法）は、試料表面から発生する特性X線の波長を検出することで、表面微小部分の元素分析を行う方法です。元素同士の特性X線のピーク重なりが少なく、微量成分の元素分析も可能です。

細く絞られた電子線を固体表面に照射すると､図に示すように､照射された表面の微小領域から､各元素固有のX線、すなわち特性X線が発生します｡

この特性X線を波長分散型X線分光器（WDS）を用いて測定することで､表面微小部分の元素分析を行うことができます｡

変色部と同箇所にNaとClの分布を確認。

銅表面の変色原因に塩化ナトリウムが影響していることが示唆されました。