電界放射型走査電子顕微鏡(FE-SEM) マッピング

概要

材料や製品の元素情報を把握することは、研究開発や品質管理などの現場において重要な項目の一つです。EDXによる元素マッピングは、試料表面の元素の分布状態を視覚的に確認できる方法です。

試験方法と測定例

原理

EDXは、試料表面の元素分析を行う装置です。

物質に電子線を照射すると、原子軌道上の電子がはじき飛ばされ、その空いた部分に外殻軌道上の電子が落ち込みます。

この際、そのエネルギー差に応じた特性X線が発生します。

特性X線のエネルギーは元素固有のものであり、この信号を検出することにより、試料表面の構成元素の定性・定量ができます。

EDX原理の模式図

特微

  • 試料中の複数の元素分布状態を一度に取得することが可能です。
  • 同じ構成元素の物質でも、含有率の差がコントラストの差として表示されるため、組成の違いが明確に現れます。

測定範囲

5B~92U

測定例

銅と硝子繊維のマッピング例(試料:配線基盤断面)
配線基盤断面の銅とガラス繊維のマッピング例

用途

  • 微小異物の分析
  • 無機添加剤の分散性評価

サンプルサイズ

  • 大きなサンプルは、試料の裁断が必要です(数cm角)。
  • 目的に応じて、適切な前処理を行います。

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