FE-SEM（電界放射型走査電子顕微鏡）　マッピング

概要

材料や製品の元素情報を把握することは、研究開発や品質管理などの現場において重要な項目の一つです。EDXによる元素マッピングは、試料表面の元素の分布状態を視覚的に確認できる方法です。

EDXは、試料表面の元素分析を行う装置です。

物質に電子線を照射すると、原子軌道上の電子がはじき飛ばされ、その空いた部分に外殻軌道上の電子が落ち込みます。

この際、そのエネルギー差に応じた特性X線が発生します。

特性X線のエネルギーは元素固有のものであり、この信号を検出することにより、試料表面の構成元素の定性・定量ができます。

₅B～₉₂U

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