FE-SEM（電界放射型走査電子顕微鏡）　EDX（エネルギー分散法）

概要

材料や製品の元素情報を把握することは、研究開発や品質管理などの現場において重要な項目の一つです。EDX（エネルギー分散法）は、試料表面から発生する特性X線のエネルギーを検出することで、表面微小部分の元素分析を行う方法です。微小領域の元素分析を短時間で比較的簡単に行うことができます。

細く絞られた電子線を固体表面に照射すると､右図に示すように､照射された表面の微小領域から､各元素固有のX線、すなわち特性X線が発生します｡

この特性X線をエネルギー分散型のX線検出器で測定することで､表面微小部分の元素分析を行うことができます｡

₅B～₉₂U

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