FE-SEM（電界放射型走査電子顕微鏡）　エネルギー分散型X線分析装置（EDX）

概要

材料や製品の元素情報を把握することは、研究開発や品質管理などの現場において重要な項目の一つです。エネルギー分析型のX線検出器（EDX）は、試料表面から発生する特性X線のエネルギーを検出することで、表面微小部分の元素分析を行う方法です。微小領域の元素分析を短時間で比較的簡単に行うことができます。

細く絞られた電子線を固体表面に照射すると､下図に示すように､照射された表面の微小領域から各元素固有のX線、すなわち特性X線が発生します｡

この特性X線をエネルギー分散型のX線検出器で測定することで､表面微小部分の元素分析を行うことができます｡

分析内容　　　　：定性分析、定量分析、元素マッピング

エネルギー分解能：Mn Kα 127eV

素子面積　　　　：100mm²

検出範囲　　　　：₃Li～₈₃Bi

EDX元素マッピングにより、金ワイヤーとアルミパッドの界面に形成されている合金層の様子が明確に検出されています。

分析倍率×50,000のEDX元素マッピングにおいても、金／合金層／アルミの境界がクリアに検出できており、空間分解能の高いマッピングが可能です。

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