ICP-質量分析（ICP-MS）
概要
半導体等などで使用される樹脂や有機溶媒などの不純物管理は厳しく、その金属不純物量の測定は重要となります。ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)では、材料中の金属不純物量についてppbレベルの非常に高感度な定量分析を行うことができます。
試験方法と測定例
原理
酸溶液あるいは有機溶媒に溶解させた試料溶液中の金属化合物をプラズマ中で元素レベルまで分解・イオン化させ、そのイオン化した元素を質量分析計で質量ごとに分離して検出します。
特徴
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有機溶媒に可溶な試料は有機溶媒で希釈して溶液化し、難溶性の試料については酸分解により溶液化することで測定可能です。
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多元素を同時に分析できます。
測定範囲
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検出対象元素
- Li～U
検出濃度- ppb～ppt（溶液中の濃度）
※酸分解および希釈の条件により試料中の濃度は変動します
測定例
採取水中の元素量分析
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