トリプル四重極型ICP-質量分析（ICP-MS/MS）
概要
半導体等などで使用される樹脂や有機溶媒などの不純物管理は厳しく、その金属不純物量の測定は重要となります。ICP-MS/MS(Triple Quadrupole Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)では、材料中の金属不純物量についてppt～ppbレベルの非常に高感度な定量分析を行うことができます。
試験方法と測定例
原理
酸溶液あるいは有機溶媒に溶解させた試料溶液中の金属化合物をプラズマ中で元素レベルまで分解・イオン化させ、そのイオン化した元素を質量分析計で質量ごとに分離して検出します。ICP-MS/MSでは従来のICP-MSと比較し、干渉成分をほぼ除去できるため定量下限が向上し超微量分析が可能となります。
特微
-
有機溶媒に可溶な試料は有機溶媒で希釈して溶液化し、難溶性の試料については酸分解により溶液化することで測定可能です。
-
多元素を同時に分析できます。
測定範囲
- 検出対象元素：Li～U
※従来のICP-MSでは対応困難であったSi, P, Sの定量も可能です。 - 検出濃度：ppb～ppt（溶液中の濃度）
※酸分解および希釈の条件により試料中の濃度は変動します。
測定例
- 炭素材料中の元素量分析
用途
1. 材料中の金属不純物の定量
2. 試料中の添加物（触媒、添加剤）の定量
サンプルサイズ
-
約1g
お問い合わせ CONTACT
当社へのご相談・ご質問がございましたら、お気軽にこちらからお問い合わせください。
WEBでのお問い合わせ
お電話でのお問い合わせ
- 営業部（東日本）
- 03-5462-7051
- 営業部（西日本大阪）
- 072-977-2065
- 営業部（西日本名古屋）
- 052-726-8392