パワーデバイス中微量成分分布測定

電動自動車等に用いられるパワーデバイス用絶縁材には高い絶縁信頼性が求められます。絶縁樹種中の金属は微量であっても絶縁信頼性に影響する可能性が有り、金属量を把握することはデバイスの信頼性の要因解析に重要です。また、金属イオンは、通電中に発生する電界の影響を受けて移動するといわれており、樹脂中の平均勤続濃度だけでなく、絶縁材中の金属の分布や移動挙動を把握することも重要です。
一般に、樹脂中金属は微量なため、検出感度が高いTOF-SIMSを用いたマッピングが有効です。