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調査研究レポート

プラズマ技術の最新パラダイム
−その材料技術とのコラボレーションを目指して−

 プラズマ技術は、これまでもプラスチック材料へ種々応用されてきましたが、最近は、プラズマテレビに代表されるように、プラズマ技術そのものが著しく進展しております。一方、高分子材料への応用も、デジタル化、微細加工化、生産技術の環境対応強化などの新しい流れに向けて発展しつつあります。本レポートは、プラズマ技術と高分子材料双方の接点に関する最新トレンドについて、詳細な情報をタイムリーにご提供するものです。

体裁 A4判 356ページ

定価 102,600円(税抜価格95,000円、送料弊社負担)

発行 2006年5月  住ベリサーチ株式会社

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概略目次 詳細目次ここからPDFファイルでご覧下さい。

第1章 緒言 1
第2章 プラズマ―プラズマディスプレイの場合 4
2.1 蛍光灯の構造 4
2.2 PDPの原理、構造 4
2.3 ディスプレイの性能比較 5
2.4 PDPの今後 5
2.5 PDPに使われる高分子材料 7
第3章 表面改質のためのプラズマ源 8
3.1 プラズマ技術に関する用語 8
3.2 プラズマ電源 11
3.3 プラズマ診断 13
3.4 プラズマが高分子材料に及ぼす作用 18
3.5 高分子表面改質後の評価 19
第4章 大気圧グロー放電プラズマ(大気圧低温プラズマ、APG) 22
4.1 大気圧グロー放電プラズマの歴史 22
4.2 大気圧グロー放電プラズマの概要 24
4.3 大気圧グロー放電プラズマの研究進捗 25
4.4 大気圧グロー放電プラズマの実用化状況 41
4.5 大気圧グロー放電プラズマの今後の展望 43
第5章 マイクロプラズマ 44
5.1 マイクロプラズマの概要 44
5.2 マイクロプラズマの研究状況 48
第6章 パルス変調プラズマ 52
6.1 連続プラズマの問題解決としてのパルス変調プラズマ 52
6.2 パルス変調プラズマのエッチング 54
6.3 パルス変調プラズマのCCD素子製造プラズマプロセスへの応用 56
6.4 パルス変調プラズマのCVDへの応用(1) 58
6.5 パルス変調プラズマのCVDへの応用(2) 58
6.6 パルス変調プラズマのCVDへの応用(3) 59
第7章 中性粒子ビームとその応用 60
7.1 装置と中性化のメカニズム 60
7.2 中性粒子ビームの応用 (1)ゲート電極のエッチング 62
7.3 中性粒子ビームの応用 (2)ゲート窒化膜の改質 63
7.4 中性粒子ビームの応用 (3)量子ドット 63
7.5 中性粒子ビーム装置の関連特許と装置の開発 64
第8章 プラズマイオン注入法(PBII:Plasma Base Ion Implantation) 65
8.1 PBIIの概要 65
8.2 RFパルスバイアス同時印可型PBII 66
8.3 バイポーラパルスPBII 67
8.4 同軸真空アークコーティング 69
8.5 負イオンビームのイオン注入・イオンビーム蒸着法への応用 70
8.6 極低エネルギーイオンビーム技術と材料開発への応用 71
8.7 配管内壁の処理 73
8.8 コンビナトリアル手法による、イオン注入条件の設定(参考) 74
第9章 高周波プラズマとマイクロ波プラズマの最新動向(ICP、CCP、表面波、ECRプラズマ、ヘリコン波プラズマ) 75
9.1 高周波プラズマ最新動向 75
9.2 マイクロ波帯プラズマ最新動向 80
9.3 ECRプラズマの最新動向 84
9.4 ヘリコン波プラズマの最新動向 86
9.5 大面積プラズマ 87
第10章 電子ビーム励起プラズマ(EBEP:Electron Beam Excited Plasma) 90
10.1 中部地域コンソーシアムの研究開発 90
10.2 EBEPの装置(日本電子の装置) 91
10.3 EBEP関連(名古屋大の研究) 91
第11章 コロナ放電処理 93
11.1 パルスコロナ放電法 93
11.2 流体安定化コロナ放電 94
11.3 コロナトーチ 95
11.4 櫛形電極によるコロナ放電処理 95
第12章 熱プラズマ 96
12.1 熱プラズマについて 96
12.2 熱プラズマにおけるパルス変調(無機材研) 97
12.3 無機材研 (2)電池関連 100
12.4 ナノ粒子合成(東工大の研究) 102
12.5 高周波誘導熱プラズマの初期点火改善 104
12.6 プラズマジェット 広島大のプロジェクト 105
12.7 放電プラズマ焼結 SPS 106
12.8 プラズマ溶射 109
第13章 高分子材料のプラズマによる処理、改質 112
13.1 プラズマ処理概要 112
13.2 接着性改良 120
13.3 親水化・撥水化・ぬれ性・官能基付与 132
13.4 医薬品DDSへの表面溶解性改良 140
13.5 チューブ内面処理 145
13.6 分離膜の処理 150
13.7 粉末・繊維の改質 153
13.8 コロナ処理 156
13.9 イオンビームによる処理具体例 165
13.10 プラスチック基板に関連したプラズマ処理 171
13.11 高温高密度プラズマによる処理 175
第14章 プラズマによる高分子材料のエッチング、微細加工 176
14.1 エッチング 176
14.2 有機膜、フィルムのエッチング 184
14.3 レジスト関連 190
14.4 プラズマ技術による高分子材料関連の微細加工 200
14.5 プラズマ技術のナノ微細パターニング加工での利用 211
14.6 高分子を一部含む材料のエッチング 217
第15章 プラズマ技術による高分子材料の洗浄、クリーニング、分解 220
15.1 洗浄、クリーニング 220
15.2 分解、アッシング 227
第16章 プラズマ技術による高分子材料への薄膜形成(無機膜、金属膜、カーボン膜など) 233
16.1 フレキシブルデバイス 234
16.2 プラズマ技術による高分子材料への金属、金属酸化膜形成 249
16.3 プラズマ技術による高分子材料への無機膜形成 265
16.4 プラズマ技術による高分子材料へのカーボン膜の付着 271
第17章 プラズマ技術による高分子膜の形成(プラズマ重合、PCVD) 284
17.1 Low-k膜 284
17.2 センサーへの応用 294
17.3 撥水性・親水性付与 301
17.4 有機無機複合膜 304
17.5 大気圧プラズマ重合による高分子材料の表面処理 305
17.6 フッ素系イオン交換膜への応用 309
17.7 電池への応用 310
17.8 光ファイバー 増幅器への応用(プラズマ開始重合) 314
17.9 CNx:H フィルム 315
第18章 湿式法の前処理としてのプラズマ技術 317
18.1 細孔フィリング膜(プラズマ処理グラフト重合法による機能膜) 317
18.2 中空糸表面のプラズマ処理とプラズマ開始グラフト重合法による改質(1) 319
18.3 中空糸表面のプラズマ処理とプラズマ開始グラフト重合法による改質(2) 320
18.4 血液循環ポンプの抗血栓性表面処理 321
18.5 シリコン/アパタイト経皮材料のコロナグラフト重合 321
18.6 コンタクトレンズ表面のプラズマグラフト重合法 323
18.7 マイクロ波プラズマを用いた綿織物のグラフト重合 323
18.8 PE繊維のグラフト重合 325
18.9 スチレンのグラフト重合 326
第19章 プラズマ技術の高分子材料関連への応用その他 327
19.1 滅菌・殺菌 327
19.2 環境改善のための処理 331
19.3 分析関連 338
19.4 マイクロプラズマの新規な利用 340
19.5 液体プラズマ電極 342
19.6 これからのプラズマ技術例 345
第20章 終言 348
略 語 表 349
参考文献 352

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