住ベリサーチ株式会社 プラスチック分析評価・情報調査の、新たなステージを創造する。
分析試験項目 試験方法と測定例 解析事例 特許・技術動向調査 技術分類リスト 調査研究レポート お問い合わせ 住ベリサーチ株式会社

解析事例 > 発生ガス分析

半導体周辺材料の微量発生ガス
 
半導体周辺材料などからの微量発生ガスの分析ができます

・温度、処理時間など幅広い条件設定が可能
・分析装置;高感度GC-MS(ガスクロマト−質量分析)

解析例
加熱処理により発生する微量成分分析

グラフ-発生量(ppb)例

一覧へもどる解析事例一覧
会社概要とアクセス個人情報についてサイトマップ