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解析事例 > ＣＳＰ関連製品の解析
◆ ISS法による最表面層の元素分析
　　　　（ISS; Ion Scattering Spectroscopy：イオン散乱分光法）
　　　　　散乱イオンの運動エネルギーを測定することにより
　　　　　表面原子層の元素分析ができます。

　　　　
　考えられる用途例
 　・薄膜（厚さ1nm以下）の被覆性評価
　・燃料電池用白金代替（非白金・脱白金）触媒の表面元素状態の分析
　分析エリア
 　１〜４mmφ
ISSスペクトル例（試料：金めっき-PPF）

図-入射イオンと散乱イオン、グラフ-運動エネルギー

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