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解析事例 > CSP関連製品の解析

ISS法による最表面層の元素分析
    (ISS; Ion Scattering Spectroscopy:イオン散乱分光法)
     散乱イオンの運動エネルギーを測定することにより
     表面原子層の元素分析ができます。

    
 考えられる用途例
 ・薄膜(厚さ1nm以下)の被覆性評価
 ・燃料電池用白金代替(非白金・脱白金)触媒の表面元素状態の分析
 分析エリア
 1〜4mmφ
ISSスペクトル例(試料:金めっき-PPF)

図-入射イオンと散乱イオン、グラフ-運動エネルギー


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