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超微量水蒸気透過性評価技術
バリア性評価技術+欠陥部の解析技術
1)バリア性能評価技術
    ◎測定精度の向上
      Ca蒸着方法と測定セル構造の改善により、測定値の信頼性が大幅に向上し、
      10−6オーダーの評価を可能にしました。

      測定範囲:10−2〜10−6g/m・day


【評価セルの特徴】
 @有機ELなどに用いられる水蒸気ハイバリア性透明フィルムの性能評価に適しています。
 A試料のバリア層の表面に蒸着によりCa層を付け、更にそれを覆うようAlの保護膜を
   形成して測定セルを構成しています。

図−Ca反応法


 B水蒸気はバリア層の欠陥部(クラックや欠損)から侵入してCaと反応します。
   このとき1molのCaは2molのHOと反応し1molの水酸化カルシウムが生成します。

図−Ca反応法 反応式


   この反応を利用して、水酸化カルシウムの体積から水分量を求めています。
   水酸化カルシウムの体積は画像解析により反応面積を算出して体積に換算しています。


■ ハイバリア基板の透湿性測定例
   標準処理条件(40℃、90%RH、1000hr温熱処理)下の測定結果を示します。

図−ハイバリア基板透湿度測定例


2)欠陥部の解析技術
■ ハイバリア基板の透湿性測定例
   水蒸気と反応した水酸化カルシウムはバリア欠陥部を中心に同心円状に
   増加していくため、欠陥位置を容易に特定することができます。

図−ハイバリア基板欠損


   下の写真はバリア欠陥中心部を断面方向から観察した事例です。

   バリア層基板の層間に存在している異物がバリア性能の低下を
   招いていることがわかります。また、異物がCrメッキしたSUS系金属
   であることが元素マッピングより特定できます。
 バリア欠陥中心部の
 透過電子顕微鏡像


明視野像
倍率 : 100,000
加速電圧 : 200.0 kV

図−バリア欠損中心部


元素マッピング分析

デ−タタイプ : ネットカウント
倍率 : 80,000
加速電圧 : 200.0 kV

図−元素マッピング@

図−元素マッピングA

図−元素マッピング@

図−元素マッピングA

図−元素マッピング@



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