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解析事例 > 微小領域、薄膜の物性評価

微小領域の硬度、弾性率などの測定技術
 
微小領域の硬度・弾性率などが
高温でも測定できるようになりました

① 薄い材料の硬度・弾性率・変形仕事量の測定ができます。
② 室温〜250℃までの測定が可能になりました。
③ 精度:5μmにてXY方向のねらった位置の測定ができます。

■測定装置
   微小硬度計ENT-1100

 ・温度測定範囲:室温〜250℃

 ・ISO14577準拠

   弾性率EIT、硬度HIT、マルテンス硬度HM、HMS
   弾性変形仕事Welast 塑性変形仕事量WplastクリープCIT など

グラフ-クリープCIT、グラフ-弾性変形仕事・塑性変形仕事
  ■微小硬度計の原理
図-荷重計、変位計グラフ-硬度と弾性率の測定
試料に三角錐圧子を押込み、
負荷時の荷重と変位から硬度を、
除荷曲線から弾性率を測定します。
式-硬度と弾性率


測定例
ポリイミドフィルム(50μm)
温度
HIT/MPa
EIT/GPa
E/GPa
室温(22℃)
732
9.30
9.4
200℃
397
5.77
5.5
石英ガラス
温度
HIT/GPa
EIT/GPa
E/GPa
室温(22℃)
9.29
69.8
70
250℃
9.45
72.5
70
HIT,EIT:微小硬度計による硬度・弾性率
E:万能試験機による引張弾性率(参考)

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